-
1 частей на миллион
частей на миллион
—
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
(МСЭ-T G.709/ Y.1331).
[ http://www.iks-media.ru/glossary/index.html?glossid=2400324]Тематики
- полупроводниковые приборы
- электросвязь, основные понятия
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > частей на миллион
-
2 ионная имплантация
ионная имплантация
Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц.
[ http://www.manual-steel.ru/eng-a.html]
ионная имплантация
Средство для введения легирующих добавок в полупроводниковый материал. Заряженные атомы (ионы) ускоряются в электрическом поле и внедряются в полупроводниковый материал. Данный метод особенно эффективен для создания тонких легированных областей. Такой процесс гораздо точнее, чем диффузионный метод легирования.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > ионная имплантация
-
3 микроэлектромеханические системы
микроэлектромеханические системы
Технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков
[ http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech_Eng-Rus.pdf]
микроэлектромеханические системы
Микроэлектромеханические системы, получаемые микрообработкой в кремнии; обычно встраиваются в интегральные схемы; обычно разделяются на две категории, микродатчиков и микроприводов; в зависимости от применяемого способа действия основаны на электромагнитных, термоупругих, пьезоэлектрических или пьезорезистивных эффектах.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > микроэлектромеханические системы
-
4 предельно допустимая концентрация
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > предельно допустимая концентрация
-
5 абсорбция
абсорбция
Избирательное поглощение вещества из раствора, или газовой смеси жидкостью или твердым телом в объеме.
Примечание
Абсорбирующее вещество называется абсорбентом.
[ ГОСТ 17567-81]
абсорбция
Поглощение молекул одного вещества непосредственно другим веществом. Абсорбция может быть или физическим, или химическим процессом, физическая абсорбция включает такие факторы, как связь между растворимостью и давлением паров, а химическая абсорбция включает химические реакции между поглощенным веществом и поглощающей средой.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
3.1.11 абсорбция (absorption): Процесс, при котором молекулы хладагента поглощаются жидкостью.
Источник: ГОСТ Р 54788-2011: Кондиционеры абсорбционные и адсорбционные и/или тепловые насосы газовые с номинальной тепловой мощностью до 70 кВт. Часть 1. Безопасность оригинал документа
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > абсорбция
-
6 адсорбция
адсорбция
Самопроизвольное изменение концентрации раствора или газовой смеси вблизи поверхности раздела фаз.
Примечание
Адсорбирующее твердое тело называется адсорбентом, адсорбируемое вещество - адсорбатом.
[ ГОСТ 17567-81]
адсорбция
Удерживание физическими или химическими силами, молекул газов, растворенных веществ или жидкостей поверхностями твердых тел или жидкостей, с которыми они находятся в контакте.
Примечание. Например, удерживание метана углеродом.
[Международный стандарт ISO 14532. Природный газ. Словарь]
адсорбция
Осаждение молекул жидкостей, газов и растворенных веществ на поверхностях твердых тел, в противоположность абсорбции.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
3.1.12 адсорбция (adsorption): Процесс, при котором молекулы хладагента удерживаются на поверхности твердого тела (возможно, пористой структуры).
Источник: ГОСТ Р 54788-2011: Кондиционеры абсорбционные и адсорбционные и/или тепловые насосы газовые с номинальной тепловой мощностью до 70 кВт. Часть 1. Безопасность оригинал документа
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > адсорбция
-
7 анизотропное травление
анизотропное травление
Травление, при котором скорость травления в направлении, перпендикулярном к поверхности, много выше, чем в направлении, параллельном поверхности; при этом не происходит никакого подтравливания, то есть минимизирована поперечная деформация структуры; необходимо для определения очень плотноупакованных геометрий.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > анизотропное травление
-
8 барботажное устройство
барботажное устройство
Контейнер с жидкостью, через которую пропускается тот или иной инертный газ-носитель для переноса некоторого парциального давления жидкости в технологический канал или в реакционную камеру.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > барботажное устройство
-
9 барьерный металл
барьерный металл
Тонкий слой металла, например, TiN, помещаемый между другим металлом и полупроводником (или изолятором), чтобы предотвратить возможные вредные взаимодействия между ними, например, образование выбросов.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > барьерный металл
-
10 безмасляный насос
безмасляный насос
Полностью безмасляный (без применения масла) форвакуумный (до вакуума приблизительно 10-3 торр) насос; все чаще используется в новейшем оборудовании для обработки полупроводников, поскольку в нем не используется масло; безмасляный винтовой насос: ротор в форме винта выталкивает молекулы газа наружу.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > безмасляный насос
-
11 борофосфорносиликатное стекло
борофосфорносиликатное стекло
Двуокись кремния (кремнезем) с добавкой бора и фосфора, чтобы понизить температуру начала плавления стекла (окиси) с около 950 ºC для чистого SiO2 до около 500 ºC для BPSG; используется для выравнивания поверхности, осажденной методом химического осаждения из паровой фазы.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > борофосфорносиликатное стекло
-
12 быстрая термообработка
быстрая термообработка
Общий термин, описывающий такой тип процесса, при котором температура подложки быстро увеличивается за счет лучистого нагрева кварцевыми галогенными лампами высокой мощности. Процесс, требующий малого количества тепловой энергии, и эффективный в некоторых случаях обработки полупроводящих устройств, в которых необходимо воздействие высокой температуры, но нежелательна передача подложке большого количества тепла.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > быстрая термообработка
-
13 быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
Термически ускоренный процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при высокой температуре, но за очень короткое время.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
-
14 вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)
вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)
Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с вертикальным расположением технологического канала и горизонтальным расположением подложек внутри канала; превосходит горизонтальную печь по постоянству нагрева, совместима с автоматической загрузкой подложек и занимает меньше места; необходимо предотвращать деформацию закрепленных горизонтально подложек; предназначена для групповой обработки.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)
-
15 газ-носитель
газ-носитель
Газообразное или парообразное вещество, движущееся через слой сорбента с целью транспортирования определяемых веществ.
[ ГОСТ 17567-81]
газ-носитель
Инертный газ, используемый для транспортировки других элементов в технологический канал или в реакционную камеру.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > газ-носитель
-
16 глубокое реактивное ионное травление
глубокое реактивное ионное травление
Метод используется для установки границ глубоких геометрических конфигураций в кремнии; необходим для формирования структур MEMS.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > глубокое реактивное ионное травление
-
17 горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах)
горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах)
Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с горизонтальным расположением технологического канала и вертикальным расположением подложек в кассете; используется для термического окисления, химического осаждения из паровой фазы, диффузии и отжигов; предназначена для групповой обработки; противоположная конструкция: вертикальная печь.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах)
-
18 групповой процесс
групповой процесс
Процесс, при котором обрабатываются одновременно несколько подложек; противоположен обработке единственной подложки; например, термическое окисление в печи (горизонтальной или вертикальной) представляет собой показательный пример группового процесса.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > групповой процесс
-
19 диффузия (в полупроводниковых приборах)
диффузия (в полупроводниковых приборах)
Процесс спекания или связывания новых тонких слоев на кремниевой подложке. Выполняется с помощью диффузионных печей, окисления под высоким давлением и быстрой термообработки.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > диффузия (в полупроводниковых приборах)
-
20 жидкое травление
жидкое травление
Процесс травления при обработке полупроводников за счет химической реакции в жидкой фазе; исключительно однородный процесс, который, однако, может быть очень избирательным.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > жидкое травление
См. также в других словарях:
частей на миллион — — [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] (МСЭ T G.709/ Y.1331). [http://www.iks media.ru/glossary/index.html?glossid=2400324] Тематики полупроводниковые приборыэлектросвязь, основные понятия EN parts per millionppm … Справочник технического переводчика
ионная имплантация — Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. [http://www.manual steel.ru/eng a.html] ионная имплантация Средство для введения… … Справочник технического переводчика
микроэлектромеханические системы — Технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков [http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech Eng Rus.pdf] микроэлектромеханические системы… … Справочник технического переводчика
предельно допустимая концентрация — — [http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech Eng Rus.pdf] [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики биотехнологииполупроводниковые приборы EN maximum permissible concentrationthreshold limit valueTLV … Справочник технического переводчика
абсорбция — Избирательное поглощение вещества из раствора, или газовой смеси жидкостью или твердым телом в объеме. Примечание Абсорбирующее вещество называется абсорбентом. [ГОСТ 17567 81] абсорбция Поглощение молекул одного вещества непосредственно другим… … Справочник технического переводчика
адсорбция — Самопроизвольное изменение концентрации раствора или газовой смеси вблизи поверхности раздела фаз. Примечание Адсорбирующее твердое тело называется адсорбентом, адсорбируемое вещество адсорбатом. [ГОСТ 17567 81] адсорбция Удерживание физическими… … Справочник технического переводчика
анизотропное травление — Травление, при котором скорость травления в направлении, перпендикулярном к поверхности, много выше, чем в направлении, параллельном поверхности; при этом не происходит никакого подтравливания, то есть минимизирована поперечная деформация… … Справочник технического переводчика
барботажное устройство — Контейнер с жидкостью, через которую пропускается тот или иной инертный газ носитель для переноса некоторого парциального давления жидкости в технологический канал или в реакционную камеру. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики… … Справочник технического переводчика
барьерный металл — Тонкий слой металла, например, TiN, помещаемый между другим металлом и полупроводником (или изолятором), чтобы предотвратить возможные вредные взаимодействия между ними, например, образование выбросов.… … Справочник технического переводчика
безмасляный насос — Полностью безмасляный (без применения масла) форвакуумный (до вакуума приблизительно 10 3 торр) насос; все чаще используется в новейшем оборудовании для обработки полупроводников, поскольку в нем не используется масло; безмасляный винтовой насос … Справочник технического переводчика
борофосфорносиликатное стекло — Двуокись кремния (кремнезем) с добавкой бора и фосфора, чтобы понизить температуру начала плавления стекла (окиси) с около 950 ºC для чистого SiO2 до около 500 ºC для BPSG; используется для выравнивания поверхности, осажденной методом… … Справочник технического переводчика