-
81 химически стимулированное ионно-лучевое травление
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химически стимулированное ионно-лучевое травление
-
82 химическое осаждение атомарных слоев из паров
химическое осаждение атомарных слоев из паров
То же, что осаждение атомарных слоев
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение атомарных слоев из паров
-
83 химическое осаждение из паровой фазы
химическое осаждение из паровой фазы
Процесс в газовой среде, при котором осаждаются изолирующие или металлические пленки на подложку при повышенной температуре. Для ускорения химической реакции часто используется пониженное давление.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы
-
84 химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором используются металлоорганические соединения, термически разлагающиеся при температурах более низких, чем другие металлосодержащие соединения; метод часто используется при эпитаксиальном выращивании очень тонких пленок полупроводников III-V.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
-
85 химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при атмосферном давлении; результатом обычно бывает низкое качество пленки и низкая конформность по сравнению с аналогичным процессом при низком давлении (LPCVD).
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
-
86 химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при пониженном (по сравнению с атмосферным) давлении
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
-
87 химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности
-
88 химическое травление
химическое травление
Травление в растворах кислот, щелочей или солей.
[ГОСТ 9.008-82]
химическое травление
Процесс травления посредством химической реакции между химически активными реагентами для травления и материалом, подвергаемым травлению.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- покрытия металл. и неметалл.
EN
19. Химическое травление
D. Chemischc Atzung
E. Chemical Ething
F. Dccapage chimique
Травление раствором кислот, щелочей или солей
Источник: ГОСТ 9.008-73: ЕСЗКС. Покрытия металлические и неметаллические неорганические. Термины и определения оригинал документа
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое травление
-
89 частей на миллиард
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > частей на миллиард
-
90 эпитаксиальный слой
эпитаксиальный слой
Выращиваемый кристаллический слой (обычно легированный), имеющий такую кристаллографическую ориентацию, что и подложка.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > эпитаксиальный слой
-
91 эпитаксия
эпитаксия
Процесс, при котором тонкий слой монокристаллического материала осаждается на монокристаллической подложке; эпитаксиальный рост происходит таким образом, что кристаллографическая структура подложки воспроизводится в растущем слое; в растущем слое также воспроизводятся дефекты кристаллической решетки подложки.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > эпитаксия
-
92 эпитаксия атомарных слоев
эпитаксия атомарных слоев
Процесс осаждения атомарных слоев, при котором образуется эпитаксиальный слой.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > эпитаксия атомарных слоев
-
93 эпитаксия из паровой фазы металлоорганических соединений
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > эпитаксия из паровой фазы металлоорганических соединений
См. также в других словарях:
частей на миллион — — [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] (МСЭ T G.709/ Y.1331). [http://www.iks media.ru/glossary/index.html?glossid=2400324] Тематики полупроводниковые приборыэлектросвязь, основные понятия EN parts per millionppm … Справочник технического переводчика
ионная имплантация — Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. [http://www.manual steel.ru/eng a.html] ионная имплантация Средство для введения… … Справочник технического переводчика
микроэлектромеханические системы — Технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков [http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech Eng Rus.pdf] микроэлектромеханические системы… … Справочник технического переводчика
предельно допустимая концентрация — — [http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech Eng Rus.pdf] [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики биотехнологииполупроводниковые приборы EN maximum permissible concentrationthreshold limit valueTLV … Справочник технического переводчика
абсорбция — Избирательное поглощение вещества из раствора, или газовой смеси жидкостью или твердым телом в объеме. Примечание Абсорбирующее вещество называется абсорбентом. [ГОСТ 17567 81] абсорбция Поглощение молекул одного вещества непосредственно другим… … Справочник технического переводчика
адсорбция — Самопроизвольное изменение концентрации раствора или газовой смеси вблизи поверхности раздела фаз. Примечание Адсорбирующее твердое тело называется адсорбентом, адсорбируемое вещество адсорбатом. [ГОСТ 17567 81] адсорбция Удерживание физическими… … Справочник технического переводчика
анизотропное травление — Травление, при котором скорость травления в направлении, перпендикулярном к поверхности, много выше, чем в направлении, параллельном поверхности; при этом не происходит никакого подтравливания, то есть минимизирована поперечная деформация… … Справочник технического переводчика
барботажное устройство — Контейнер с жидкостью, через которую пропускается тот или иной инертный газ носитель для переноса некоторого парциального давления жидкости в технологический канал или в реакционную камеру. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики… … Справочник технического переводчика
барьерный металл — Тонкий слой металла, например, TiN, помещаемый между другим металлом и полупроводником (или изолятором), чтобы предотвратить возможные вредные взаимодействия между ними, например, образование выбросов.… … Справочник технического переводчика
безмасляный насос — Полностью безмасляный (без применения масла) форвакуумный (до вакуума приблизительно 10 3 торр) насос; все чаще используется в новейшем оборудовании для обработки полупроводников, поскольку в нем не используется масло; безмасляный винтовой насос … Справочник технического переводчика
борофосфорносиликатное стекло — Двуокись кремния (кремнезем) с добавкой бора и фосфора, чтобы понизить температуру начала плавления стекла (окиси) с около 950 ºC для чистого SiO2 до около 500 ºC для BPSG; используется для выравнивания поверхности, осажденной методом… … Справочник технического переводчика