-
61 полупроводник p-типа
полупроводник p-типа
Полупроводниковый кристалл, содержащий небольшое количество легирующих атомов, имеющих на один внешний электрон меньше, чем другие атомы. Каждый легирующий атом приводит к появлению одного незанятого места, называемого дыркой, среди электронов на своих орбитах. Дырки положительно заряжены и фактически передвигаются, образуя электрический ток. В качестве легирующих добавок p-типа к кремнию обычно используется бор.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > полупроводник p-типа
-
62 полупроводниковое соединение
полупроводниковое соединение
Полупроводник образуется с помощью двух или более элементов; полупроводниковые соединения не возникают в природе, они синтезируются с помощью элементов из групп со II по VI периодической таблицы, например, из групп II и V (соединения III-V) или II и VI (соединения II-VI).
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > полупроводниковое соединение
-
63 реактивное ионное травление
реактивное ионное травление
Разновидность плазменного травления, при котором полупроводниковая подложка во время травления помещается электрод, питаемый ВЧ мощностью. Подложка приобретает потенциал, которым ускоряются травящие реагенты, извлеченные из плазмы по направлению к протравливаемой поверхности; реакция химического травления при этом происходит преимущественно в направлении, перпендикулярном к поверхности, то есть травление более анизотропно, чем при плазменном травлении, но менее избирательно; происходит повреждение протравливаемой поверхности; наиболее распространенный режим травления при производстве полупроводников.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > реактивное ионное травление
-
64 сквозная перемычка
сквозная перемычка
Перемычка из проводящего материала между слоями схемы.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > сквозная перемычка
-
65 тетракис(диэтиламидо) гафний
тетракис(диэтиламидо) гафний
ТДЭАГ
—
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
Синонимы
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > тетракис(диэтиламидо) гафний
-
66 тетракис(диэтиламино) титан
тетракис(диэтиламино) титан
ТДМАТ
—
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
Синонимы
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > тетракис(диэтиламино) титан
-
67 тетракис(этилметиламино) гафний
тетракис(этилметиламино) гафний
ТЭМАГ
—
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
Синонимы
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > тетракис(этилметиламино) гафний
-
68 тетраэтилортосиликат
тетраэтилортосиликат
ТЭОС
Si(OC2H5)4
Газообразный реагент, обычно используемый в процессах химического осаждения SiO2 из паровой фазы; обеспечивает хорошую конформность покрытия; относительно инертное вещество, жидкое при комнатной температуре; термически разлагается при температуре около 700 oC с образованием SiO2; при дополнительном использовании плазмы температура осаждения уменьшается до значения ниже 500 oC.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
Синонимы
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > тетраэтилортосиликат
-
69 травление
травление
Обработка поверхности основного покрываемого металла химическим или электрохимическим способом для растворения и удаления окислов или слоя металла.
[ГОСТ 9.008-82]
травление
Процесс удаления материала (например, окисей или других тонких пленок) химическими, электролитическими или плазменными (ионной бомбардировкой) методами.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- покрытия металл. и неметалл.
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > травление
-
70 травление оксида
травление оксида
Удаление двуокиси кремния
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > травление оксида
-
71 трибутилмышьяк
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > трибутилмышьяк
-
72 трибутилфосфин
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > трибутилфосфин
-
73 триметилалюминий
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > триметилалюминий
-
74 триэтилгаллий
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > триэтилгаллий
-
75 триэтилиндийтэи
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > триэтилиндийтэи
-
76 физическая адсорбция
физическая адсорбция
Самая слабая форма адсорбции, являющаяся результатом чисто физического притяжения (ван-дер-ваальсовы силы) между адсорбатом и поверхностью; не образуется никакой химической связи между адсорбатом и поверхностью.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > физическая адсорбция
-
77 физическое осаждение из паровой фазы
физическое осаждение из паровой фазы
Осаждение тонких пленок, осуществляемое с помощью физического переноса материала (например, с помощью термического испарения или распыления) от источника к подложке; химический состав осажденного материала во время данного процесса не изменяется.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > физическое осаждение из паровой фазы
-
78 физическое травление
физическое травление
Травление распылением; процесс травления через физические взаимодействия (передача момента) между ускоряемыми ионами химически инертных веществ (например, Ar) и протравливаемым твердым телом; анизотропное, неизбирательное.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > физическое травление
-
79 фоторезист
фоторезист
Светочувствительная жидкость, наносимая на подложку в виде однородной тонкой пленки. После обжига выполняется экспозиция с помощью маски с конкретной конфигурацией. Материал, остающийся после проявления, сопротивляется последующим травлению или имплантации.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > фоторезист
-
80 хемосорбция
хемосорбция
Абсорбция реагентов (адсорбатов) на твердых поверхностях с образованием химической связи между адсорбатом и поверхностью.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > хемосорбция
См. также в других словарях:
частей на миллион — — [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] (МСЭ T G.709/ Y.1331). [http://www.iks media.ru/glossary/index.html?glossid=2400324] Тематики полупроводниковые приборыэлектросвязь, основные понятия EN parts per millionppm … Справочник технического переводчика
ионная имплантация — Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. [http://www.manual steel.ru/eng a.html] ионная имплантация Средство для введения… … Справочник технического переводчика
микроэлектромеханические системы — Технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков [http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech Eng Rus.pdf] микроэлектромеханические системы… … Справочник технического переводчика
предельно допустимая концентрация — — [http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech Eng Rus.pdf] [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики биотехнологииполупроводниковые приборы EN maximum permissible concentrationthreshold limit valueTLV … Справочник технического переводчика
абсорбция — Избирательное поглощение вещества из раствора, или газовой смеси жидкостью или твердым телом в объеме. Примечание Абсорбирующее вещество называется абсорбентом. [ГОСТ 17567 81] абсорбция Поглощение молекул одного вещества непосредственно другим… … Справочник технического переводчика
адсорбция — Самопроизвольное изменение концентрации раствора или газовой смеси вблизи поверхности раздела фаз. Примечание Адсорбирующее твердое тело называется адсорбентом, адсорбируемое вещество адсорбатом. [ГОСТ 17567 81] адсорбция Удерживание физическими… … Справочник технического переводчика
анизотропное травление — Травление, при котором скорость травления в направлении, перпендикулярном к поверхности, много выше, чем в направлении, параллельном поверхности; при этом не происходит никакого подтравливания, то есть минимизирована поперечная деформация… … Справочник технического переводчика
барботажное устройство — Контейнер с жидкостью, через которую пропускается тот или иной инертный газ носитель для переноса некоторого парциального давления жидкости в технологический канал или в реакционную камеру. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики… … Справочник технического переводчика
барьерный металл — Тонкий слой металла, например, TiN, помещаемый между другим металлом и полупроводником (или изолятором), чтобы предотвратить возможные вредные взаимодействия между ними, например, образование выбросов.… … Справочник технического переводчика
безмасляный насос — Полностью безмасляный (без применения масла) форвакуумный (до вакуума приблизительно 10 3 торр) насос; все чаще используется в новейшем оборудовании для обработки полупроводников, поскольку в нем не используется масло; безмасляный винтовой насос … Справочник технического переводчика
борофосфорносиликатное стекло — Двуокись кремния (кремнезем) с добавкой бора и фосфора, чтобы понизить температуру начала плавления стекла (окиси) с около 950 ºC для чистого SiO2 до около 500 ºC для BPSG; используется для выравнивания поверхности, осажденной методом… … Справочник технического переводчика