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Wafer-Stepper-Anlage

Fotolithografie (Halbleitertechnik) — Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten. Dabei wird mittels der Belichtung das Bild einer Fotomaske auf … Deutsch Wikipedia
Reticle — Stepper (links:MA 6) und Mask Aligner (rechts: MJB3) unter photochemisch unwirksamer Belichtung („Gelblicht“) Ein Stepper ist in der Halbleiterindustrie Anlage zur Belichtung und Strukturierung eine Fotolacks bei der Fotolithografie. Der Stepper… … Deutsch Wikipedia
Halbleitertechnik — Die Halbleitertechnik definiert sich historisch und aufgrund der Verwendung der Produkte als Schlüsselkomponenten in elektrotechnischen Erzeugnissen als Teilgebiet der Elektrotechnik (speziell der Mikroelektronik). Trifft man die Zuordnung… … Deutsch Wikipedia
SÜSSMicroTec — Süss Microtec AG Unternehmensform Aktiengesellschaft Unternehmenssitz Garching bei München … Deutsch Wikipedia
Schrägbeleuchtung — (englisch off axis illumination) – seltener Schrägbelichtung oder außeraxiale Belichtung genannt – bezeichnet in der Halbleitertechnik ein fortgeschrittenes Belichtungsverfahren bei der fotolithografischen Strukturierung. Es bietet die… … Deutsch Wikipedia