-
1 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.Russian-English dictionary of Nanotechnology > photolithography
-
2 reverse photolithography
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > reverse photolithography
-
3 фотолитография
-
4 фотолитография
Русско-английский исловарь по машиностроению и автоматизации производства > фотолитография
-
5 фотолитография
Русско-английский словарь по микроэлектронике > фотолитография
-
6 фотолитография
Русско-английский научно-технический словарь Масловского > фотолитография
-
7 фотолитография
-
8 оборудование для фотолитографии
Русско-английский физический словарь > оборудование для фотолитографии
-
9 участок фотолитографии
Русско-английский словарь по электронике > участок фотолитографии
-
10 участок фотолитографии
Русско-английский словарь по радиоэлектронике > участок фотолитографии
-
11 оборудование для фотолитографии
Русско-английский словарь по микроэлектронике > оборудование для фотолитографии
-
12 фотолитография
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.Russian-English dictionary of Nanotechnology > фотолитография
-
13 фотолитография
1) General subject: photolithography2) Engineering: optical lithography, optical printing, optical projection, photoengraving, photolithograph, photolithographic processing, photoprocess, photoprocessing, photoresist processing3) Polygraphy: lithography, lithophotography, photolithography (изготовление микросхем фотомеханическим способом)4) Electronics: photoetching process, photographic masking, photolithographic process, photomasking technology, photoresist process5) Information technology: photomasking6) Household appliances: photolithographic masking7) Microelectronics: photolithographic step, photolithography process, photolitographic, photomasking step, printing -
14 фотолитография
-
15 взрывная фотолитография
1) Engineering: lift-off photolithography2) Makarov: explosive photolithographyУниверсальный русско-английский словарь > взрывная фотолитография
-
16 оптическая литография
1) Engineering: optical lithography, optical printing, optical projection, photoengraving, photolitho, photolithography, photoprocess, photoprocessing2) Microelectronics: photolithography process, photoresist processУниверсальный русско-английский словарь > оптическая литография
-
17 прецизионная фотолитография
1) Engineering: fine-line photolithography2) Electronics: precision photolithography3) Makarov: fine line lithographyУниверсальный русско-английский словарь > прецизионная фотолитография
-
18 фотолитография с зазором
1) Engineering: proximity photolithography (микро), proximity printing photolithography (микро)2) Electronics: proximity printing3) Microelectronics: optical proximity printingУниверсальный русско-английский словарь > фотолитография с зазором
-
19 прецизионная фотолитография
Русско-английский новый политехнический словарь > прецизионная фотолитография
-
20 УФ- литография
Engineering: UV photolithography (фото)
См. также в других словарях:
Photolithography — Pho to*li*thog ra*phy, n. The art or process of producing photolithographs. [1913 Webster] [1913 Webster] … The Collaborative International Dictionary of English
photolithography — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
photolithography — [fōt΄ōli thäg′rə fē] n. a process of printing from a plate, etc. prepared by methods combining photography and lithography photolithographic [fōt΄ōlith΄ə graf′ik] adj … English World dictionary
Photolithography — For earlier uses of photolithography in printing, see Lithography. For the same process applied to metal, see Photochemical machining. Photolithography (or optical lithography ) is a process used in microfabrication to selectively remove parts of … Wikipedia
photolithography — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
photolithography — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiais būdais metale, stikle, puslaidininkyje. atitikmenys: angl. photolithography vok. Fotolithografie, f; Lichtsteindruck, m rus.… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
photolithography — fotolitografija statusas T sritis chemija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiu būdu. atitikmenys: angl. photolithography rus. фотолитография … Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
photolithography — noun Etymology: International Scientific Vocabulary Date: 1856 1. lithography in which photographically prepared plates are used 2. a process involving the photographic transfer of a pattern to a surface for etching (as in producing an integrated … New Collegiate Dictionary
photolithography — photolithographic /foh teuh lith euh graf ik/, adj. photolithographer, n. /foh toh li thog reuh fee/, n. 1. the technique or art of making photolithographs. 2. Electronics. a process whereby integrated and printed circuits are produced by… … Universalium
photolithography — noun a) A lithographic procedure in which printing plates are made using a photographic process. b) An optical exposure process used in the manufacture of integrated circuits. See Also: photolithograph … Wiktionary
photolithography — n. production of lithographs through photoengraving fəʊtəʊlɪ θɑgrÉ™fɪ / θɒg … English contemporary dictionary