Kristallgitterfehler

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• Rapid Thermal Annealing — Rapid Thermal Processing (dt.: schnelle thermische Bearbeitung) ist ein Überbegriff für die Bearbeitung von Wafern in einem Hochtemperaturprozess, bei dem eine sehr rasche Erhitzung des Wafers mit Halogenlampen erzielt wird. Inhaltsverzeichnis 1… …   Deutsch Wikipedia

• Rapid Thermal Oxidation — Rapid Thermal Processing (dt.: schnelle thermische Bearbeitung) ist ein Überbegriff für die Bearbeitung von Wafern in einem Hochtemperaturprozess, bei dem eine sehr rasche Erhitzung des Wafers mit Halogenlampen erzielt wird. Inhaltsverzeichnis 1… …   Deutsch Wikipedia

• Rapid Thermal Processing — (dt.: schnelle thermische Bearbeitung) ist ein Überbegriff für die Bearbeitung von Wafern in einem Hochtemperaturprozess, bei dem eine sehr rasche Erhitzung des Wafers mit Halogenlampen erzielt wird. Inhaltsverzeichnis 1 Grundprinzip 2 Prozesse 2 …   Deutsch Wikipedia