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1 BPSG
борофосфорносиликатное стекло
Двуокись кремния (кремнезем) с добавкой бора и фосфора, чтобы понизить температуру начала плавления стекла (окиси) с около 950 ºC для чистого SiO2 до около 500 ºC для BPSG; используется для выравнивания поверхности, осажденной методом химического осаждения из паровой фазы.
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Англо-русский словарь нормативно-технической терминологии > BPSG
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2 BPSG
Электроника: Boro phosphosilicate -
3 BPSG
сокр. от bohronphosphorsilicat glass
См. также в других словарях:
BPSG — ist eine Abkürzung für: Borphosphorsilicatglas, ein mit je 3 bis 5 % Bor und Phosphor dotiertes Silicatglas, das in der Halbleitertechnik unter anderem zur Planarisierung der Oberfläche eingesetzt wird. Diese Seite ist eine Begriffsklärun … Deutsch Wikipedia
BPSG — Boro PhosphoSilicate Glass (Academic & Science » Electronics) … Abbreviations dictionary
Borophosphosilicate glass — Borophosphosilicate glass, commonly known as BPSG, is a type of silicate glass that includes additives of both boron and phosphorus. Silicate glasses such as PSG and borophosphosilicate glass are commonly used in semiconductor device fabrication… … Wikipedia
Chemisch-mechanisches Polieren — Chemisch mechanisches Polieren, auch chemisch mechanisches Planarisieren (CMP, engl: chemical mechanical polishing, auch chemical mechanical planarization) ist ein Polierverfahren in der Waferbearbeitung um dünne Schichten gleichmäßig abzutragen … Deutsch Wikipedia
Dotieren — Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat. dotare „ausstatten“) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die dabei eingebrachten Konzentration sind… … Deutsch Wikipedia
Dotierter Halbleiter — Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat. dotare „ausstatten“) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die dabei eingebrachten Konzentration sind… … Deutsch Wikipedia
Dotierung — Eine Dotierung oder das Dotieren (von lat. dotare „ausstatten“) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die dabei eingebrachte Menge ist dabei… … Deutsch Wikipedia
N-Dotierung — Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat. dotare „ausstatten“) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die dabei eingebrachten Konzentration sind… … Deutsch Wikipedia
N-dotiert — Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat. dotare „ausstatten“) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die dabei eingebrachten Konzentration sind… … Deutsch Wikipedia
P-Dotierung — Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat. dotare „ausstatten“) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die dabei eingebrachten Konzentration sind… … Deutsch Wikipedia
P-dotiert — Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat. dotare „ausstatten“) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die dabei eingebrachten Konzentration sind… … Deutsch Wikipedia
