Atomlagenepitaxie

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• Atomlagenabscheidung — Die Atomlagenabscheidung (englisch atomic layer deposition, ALD) ist ein stark verändertes CVD Verfahren zur Abscheidung von dünnen Schichten. Diese haben in der Regel eine polykristalline oder amorphe Struktur. Für einkristalline… …   Deutsch Wikipedia

• Atomic Layer Deposition — Die Atomlagenabscheidung (engl. atomic layer deposition, ALD) ist ein stark verändertes CVD Verfahren zur Abscheidung von dünnen Schichten. Verschiedene Namen ein Prinzip, die Atomlagenabscheidung[1] Bezeichnung Abkürzung Atomic layer deposition… …   Deutsch Wikipedia

• Epitaxie — (von griechisch epi „auf“, „über“ und taxis im Sinne von „ordnen“ bzw. „ausrichten“) ist eine Form des Kristallwachstums, welche beim Aufwachsen von Kristallen auf kristallinen Substraten auftreten kann. Man spricht von Epitaxie, wenn… …   Deutsch Wikipedia