-
81 контактная фотолитография
Русско-английский политехнический словарь > контактная фотолитография
-
82 обратная фотолитография
Русско-английский политехнический словарь > обратная фотолитография
-
83 прецизионная фотолитография
Русско-английский политехнический словарь > прецизионная фотолитография
-
84 проекционная фотолитография
projection photolithography, projection printingРусско-английский политехнический словарь > проекционная фотолитография
-
85 цветная фотолитография
Русско-английский политехнический словарь > цветная фотолитография
-
86 reverse photolithography
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > reverse photolithography
-
87 прецизионный
1. exact2. precision -
88 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.Russian-English dictionary of Nanotechnology > photolithography
-
89 прецизионный
Русско-английский новый политехнический словарь > прецизионный
-
90 литография (в полупроводниковых приборах)
литография (в полупроводниковых приборах)
Перенос конфигурации или изображения с одного носителя на другой, например, с маски на подложку. Если для осуществления переноса применяется свет, используется термин фотолитография. Микролитографией называется процесс, в котором для переноса изображений применяется излучение в субмикронном диапазоне.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > литография (в полупроводниковых приборах)
См. также в других словарях:
фотолитография — фотолитография … Орфографический словарь-справочник
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — Особый способ перенесения фотографического снимка на литографский камень. Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка. Чудинов А.Н., 1910. ФОТОЛИТОГРАФИЯ воспроизведение путем фотографии изображений на камне и перепечатка этого… … Словарь иностранных слов русского языка
фотолитография — и, ж. photolithographie f. Литография, полученная при помощи фотографического перенесения изображения на поверхность литографского камня. БАС 1. Два слова о фотолитографии. Этим именем называется перевод на камень фотографического (т. е. с… … Исторический словарь галлицизмов русского языка
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — (от фото... и литография) ..1) фотомеханический способ изготовления печатной формы плоской печати на камне или металлической пластине2)] Оттиск с такой формы … Большой Энциклопедический словарь
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — ФОТОЛИТОГРАФИЯ, фотолитографии, жен. (тип.). Литография, основанная на применении фотографии. см. фото… в 1 знач. Толковый словарь Ушакова. Д.Н. Ушаков. 1935 1940 … Толковый словарь Ушакова
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования изделий разл. типа с использованием светочувствит. материалов. Ф. применяется в полиграфии для фотомеханич. изготовления печатных форм на формном материале (камне или металлич. пластине) в результате фотодубления или… … Физическая энциклопедия
фотолитография{ –} — литография с применением фотографии (для нанесения рисунка на литографский камень) Большой словарь иностранных слов. Издательство «ИДДК», 2007 … Словарь иностранных слов русского языка
фотолитография — сущ., кол во синонимов: 2 • литография (11) • оттиск (25) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 … Словарь синонимов
фотолитография — и; ж. 1. Литография, основанная на применении фотографии, когда рисунок, изображение с негатива наносится на литографический камень или металлическую пластинку, покрытые светочувствительным слоем. 2. Оттиск с литографической печатной формы,… … Энциклопедический словарь
Фотолитография — Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из … Википедия
фотолитография — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.