-
1 Separation by Implanted Oxygen
сущ.микроэл. Симокс-процесс, метод формирования диэлектрического слоя SiO2 или, метод формирования диэлектрического слоя SiO2 или Si3N4 в монокристалле кремния имплантацией ионов кислорода или азота с последующим термическим отжигомУниверсальный немецко-русский словарь > Separation by Implanted Oxygen
-
2 Si3N4
сущ.микроэл. Симокс-процесс (вариант КНД-технологии), в монокристалле кремния имплантацией ионов кислорода или азота с последующим термическим отжигом, нитрид кремния