-
1 photolithography
photolithography [ˏfəυtəυlɪˊθɒgrəfɪ] nфотолитогра́фия -
2 photolithography
n.• fotolitografía s.f.ˌfəʊtəʊlɪ'θɑːgrəfimass noun fotolitografía f[ˌfǝʊtǝʊlɪ'θɒɡrǝfɪ]N fotolitografía f* * *[ˌfəʊtəʊlɪ'θɑːgrəfi]mass noun fotolitografía f -
3 photolithography
-
4 photolithography
photolithography s Fotolithografie f (Verfahren zur Herstellung von Druckformen für den Offsetdruck) -
5 photolithography
photolithography Photolithographie f (z. B. zur Herstellung von Halbleiterbauelementen)English-German dictionary of Electrical Engineering and Electronics > photolithography
-
6 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим. -
7 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.Russian-English dictionary of Nanotechnology > photolithography
-
8 photolithography
-
9 photolithography
Un panorama unique de l'anglais et du français > photolithography
-
10 photolithography
1) фотолитография, оптическая литография•-
contact photolithography
-
fine-line photolithography
-
lift-off photolithography
-
projection photolithography
-
proximity printing photolithography
-
proximity photolithography
-
reduction projection photolithography
-
UV photolithographyАнгло-русский словарь технических терминов > photolithography
-
11 photolithography
-
12 photolithography
•- fine-line photolithography
- high-resolution photolithography
- lift-off photolithography
- negative-resist photolithography
- positive-resist photolithography
- projection photolithography
- proximity photolithographyThe New English-Russian Dictionary of Radio-electronics > photolithography
-
13 photolithography
фотолітографія, оптична літографія (див. т-ж lithography) - deep-UV contact photolithography
- in-line photolithography
- relaxed registration photolithography
- 1:1 projection photolithographyEnglish-Ukrainian dictionary of microelectronics > photolithography
-
14 photolithography
n полигр. фотолитография -
15 photolithography
1. изготовление форм плоской печати фотомеханическим способом2. фотолитографияEnglish-Russian big polytechnic dictionary > photolithography
-
16 photolithography
The English-Russian dictionary general scientific > photolithography
-
17 photolithography
Большой англо-русский и русско-английский словарь > photolithography
-
18 photolithography
-
19 photolithography
[ˌfəutəulɪˈθɔɡrəfɪ]photolithography фотолитография -
20 photolithography
См. также в других словарях:
Photolithography — Pho to*li*thog ra*phy, n. The art or process of producing photolithographs. [1913 Webster] [1913 Webster] … The Collaborative International Dictionary of English
photolithography — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
photolithography — [fōt΄ōli thäg′rə fē] n. a process of printing from a plate, etc. prepared by methods combining photography and lithography photolithographic [fōt΄ōlith΄ə graf′ik] adj … English World dictionary
Photolithography — For earlier uses of photolithography in printing, see Lithography. For the same process applied to metal, see Photochemical machining. Photolithography (or optical lithography ) is a process used in microfabrication to selectively remove parts of … Wikipedia
photolithography — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
photolithography — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiais būdais metale, stikle, puslaidininkyje. atitikmenys: angl. photolithography vok. Fotolithografie, f; Lichtsteindruck, m rus.… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
photolithography — fotolitografija statusas T sritis chemija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiu būdu. atitikmenys: angl. photolithography rus. фотолитография … Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
photolithography — noun Etymology: International Scientific Vocabulary Date: 1856 1. lithography in which photographically prepared plates are used 2. a process involving the photographic transfer of a pattern to a surface for etching (as in producing an integrated … New Collegiate Dictionary
photolithography — photolithographic /foh teuh lith euh graf ik/, adj. photolithographer, n. /foh toh li thog reuh fee/, n. 1. the technique or art of making photolithographs. 2. Electronics. a process whereby integrated and printed circuits are produced by… … Universalium
photolithography — noun a) A lithographic procedure in which printing plates are made using a photographic process. b) An optical exposure process used in the manufacture of integrated circuits. See Also: photolithograph … Wiktionary
photolithography — n. production of lithographs through photoengraving fəʊtəʊlɪ θɑgrÉ™fɪ / θɒg … English contemporary dictionary