UHV-CVD

См. также в других словарях:

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• Ultra high vacuum — (UHV) is the vacuum regime characterised by pressures lower than about 10−7 pascal or 100 nanopascals ( 10−9 torr). UHV requires the use of special materials in creating the vacuum system, extreme cleanliness to maintain the vacuum system, and… …   Wikipedia

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• Oberflächenanalytik — Oberflächenchemie (engl. surface chemistry, surface science) ist ein Teilgebiet der Physikalischen Chemie, bei dem die chemischen und strukturellen Vorgänge untersucht werden, die sich an Grenzflächen, meist fest/gasförmig, abspielen. Dabei… …   Deutsch Wikipedia

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