-
1 Sputterätzen
n <el.ic.prod> (trockenes physikalisches Ätzverfahren) ■ ion etching; sputter etching; ion milling -
2 Sputterätzen
nтравление методом распыления, травление распылением; ионное травление; ионно-плазменное травление -
3 Sputterätzen
сущ.1) электр. ионное травление, травление распылением2) микроэл. травление методом распыления, ионно-плазменное травление (в среде инертного или активного газа) -
4 ионно-плазменное травление
adjmicroel. Sprühätzen (в среде инертного или активного газа), Sputterätzen (в среде инертного или активного газа)Универсальный русско-немецкий словарь > ионно-плазменное травление
-
5 ионное травление
-
6 травление методом распыления
nmicroel. Sprühätzen, Sputterätzen, ZerstäubungsätzenУниверсальный русско-немецкий словарь > травление методом распыления
-
7 травление распылением
nelectr. SputterätzenУниверсальный русско-немецкий словарь > травление распылением
-
8 ion etching
-
9 ion milling
-
10 sputter etching
< srfc> ■ Sprühätzung f
См. также в других словарях:
Fotomaske — Fotomasken (englisch reticle) sind Projektionsvorlagen, deren Hauptanwendung die fotolithografische Strukturierung bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen oder Mikrosystemen ist. Sie bestehen üblicherweise aus hochreinem… … Deutsch Wikipedia