-
1 ионно-плазменное травление
adjmicroel. Sprühätzen (в среде инертного или активного газа), Sputterätzen (в среде инертного или активного газа)Универсальный русско-немецкий словарь > ионно-плазменное травление
-
2 ионное травление
-
3 травление методом распыления
nmicroel. Sprühätzen, Sputterätzen, ZerstäubungsätzenУниверсальный русско-немецкий словарь > травление методом распыления
-
4 травление распылением
nelectr. SputterätzenУниверсальный русско-немецкий словарь > травление распылением
См. также в других словарях:
Fotomaske — Fotomasken (englisch reticle) sind Projektionsvorlagen, deren Hauptanwendung die fotolithografische Strukturierung bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen oder Mikrosystemen ist. Sie bestehen üblicherweise aus hochreinem… … Deutsch Wikipedia