SiO2-Isolatorschicht

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• MIS-Struktur — (Metall/SiO2/p Si) in einem vertikalen MIS Kondensator Die Metall Isolator Halbleiter Struktur (engl. metal insulator semiconductor, kurz MIS) bildet die Grundlage für eine Vielzahl von Bauelementen in der Mikroelektronik, z. B.… …   Deutsch Wikipedia

• Metal insulator semiconductor — MIS Struktur (Metall/SiO2/p Si) in einem vertikalen MIS Kondensator Die Metall Isolator Halbleiter Struktur (engl. metal insulator semiconductor, kurz MIS) bildet die Grundlage für eine Vielzahl von Bauelementen in der Mikroelektronik, z. B.… …   Deutsch Wikipedia

• High-k-Dielektrikum — Als High k Dielektrikum wird in der Halbleitertechnik ein Material bezeichnet, das eine höhere Dielektrizitätszahl aufweist als herkömmliches Siliziumdioxid (εr = 3,9) oder Oxinitride (εr < 6). Die Bezeichnung „high k“ ist… …   Deutsch Wikipedia

• Metall-Isolator-Halbleiter-Struktur — MIS Struktur (Metall/SiO2/p Si) in einem vertikalen MIS Kondensator Die Metall Isolator Halbleiter Struktur (engl. metal insulator semiconductor, kurz MIS) bildet die Grundlage für eine Vielzahl von Bauelementen in der Mikroelektronik, z. B …   Deutsch Wikipedia

• High-k — Als High k Dielektrikum wird in der Halbleitertechnologie ein Material bezeichnet, das eine höhere Dielektrizitätszahl aufweist als herkömmliches Siliziumdioxid (εr=3,9) oder Oxinitride (εr<6). Die Bezeichnung „High k“ ist dem Englischen… …   Deutsch Wikipedia

• SOI-Technik —   [SOI von englisch silicon on insulator »Silicium auf Isolator«], Halbleitertechnik: Sammelbezeichnung für verschiedene Verfahren zur Erzeugung dünner, einkristalliner Siliciumschichten auf isolierendem Substrat (z. B. Saphir) oder dünner… …   Universal-Lexikon