микролитография

См. также в других словарях:

• МИКРОЛИТОГРАФИЯ — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхность твёрдого тела (подложку) тонкого слоя фоторезиста (материала, чувствительного к воздействию… …   Физическая энциклопедия

• микролитография — mikrolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microlithography vok. Mikrolithografie, f rus. микролитография, f pranc. microlithographie, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

• микролитография для изготовления полупроводниковых ИС — puslaidininkių integrinių grandynų mikrolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. semiconductor microlithography vok. Halbleitermikrolithografie, f rus. микролитография для изготовления полупроводниковых ИС, f pranc.… …   Radioelektronikos terminų žodynas

• ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА — твердотельное устройство, содержащее группу приборов и их соединения (связи), выполненное на единой пластине (подложке). В И. с. интегрируются пассивные элементы (ёмкости, сопротивления) и активные элементы, действие к рых основано на разл. физ.… …   Физическая энциклопедия

• ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ — удаление вещества с поверхности твёрдого тела под действием ионной бомбардировки. Процесс И. т. зависит от интенсивности пучка, вида, энергии н угла падения ионов, а также от материала и состояния мишени. В процессе И. т. вследствие распыления,… …   Физическая энциклопедия

• ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… …   Химическая энциклопедия

• Преломление рентгеновских лучей — физический процесс взаимодействия электромагнитных волн рентгеновского диапазона с поверхностью, сопровождающийся изменением направления волнового фронта на границе двух сред с разными оптическими свойствами.Является разновидностью полного… …   Википедия

• Фоторезист — (от фото и англ. resist)  полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих или …   Википедия

• Фотогравировка — (англ. Photoengraving)  новый термин, произошедший дословным переводом английского слова photoengraving. В узком смысле под фотогравировкой понимают фотохимическое гравирование  процесс гравировки, использующий фотографические… …   Википедия

• Halbleitermikrolithografie — puslaidininkių integrinių grandynų mikrolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. semiconductor microlithography vok. Halbleitermikrolithografie, f rus. микролитография для изготовления полупроводниковых ИС, f pranc.… …   Radioelektronikos terminų žodynas

• microlithographie pour création des circuits semi-conducteurs monolithiques — puslaidininkių integrinių grandynų mikrolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. semiconductor microlithography vok. Halbleitermikrolithografie, f rus. микролитография для изготовления полупроводниковых ИС, f pranc.… …   Radioelektronikos terminų žodynas