-
1 резисты с химическим усилением
Makarov: chemically amplified resistsУниверсальный русско-английский словарь > резисты с химическим усилением
-
2 позитивные резисты
Makarov: positive resistsУниверсальный русско-английский словарь > позитивные резисты
-
3 рентгеновские резисты
Makarov: X-ray resistsУниверсальный русско-английский словарь > рентгеновские резисты
-
4 силфениленовые резисты
Makarov: silphenylene resistУниверсальный русско-английский словарь > силфениленовые резисты
-
5 чувствительные к жёсткому УФ-облучению резисты
Makarov: deep UV resistsУниверсальный русско-английский словарь > чувствительные к жёсткому УФ-облучению резисты
-
6 diazo-type electron beam resists
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > diazo-type electron beam resists
-
7 plasma developable photoresist
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > plasma developable photoresist
См. также в других словарях:
РЕЗИСТЫ — органические материалы, чувствительные к воздействию какого либо излучения: оптического (фоторезисты), рентгеновского (рентгенорезисты), потока электронов или иного (электроно или ионорезисты). Применяют в литографии для формирования заданного… … Большой Энциклопедический словарь
резисты — органические материалы, чувствительные к воздействию какого либо излучения: оптического (фоторезисты), рентгеновского (рентгенорезисты), потока электронов или ионов (электроно или ионорезисты). Применяют в литографии для формирования заданного… … Энциклопедический словарь
РЕЗИСТЫ — органич. материалы, чувствительные к воздействию к. л. излучения: оптич. (фоторезисты), рентгеновского (рентгенорезисты), потока электронов или ионов (электроно или ионорезисты). Применяют в планарной технологии для формирования заданного… … Естествознание. Энциклопедический словарь
МИКРОЛИТОГРАФИЯ — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхность твёрдого тела (подложку) тонкого слоя фоторезиста (материала, чувствительного к воздействию… … Физическая энциклопедия
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Травление в литографии — (англ. etching (development) in lithography) этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой… … Википедия
ГОСТ Р 52250-2004 — 31 с. (5) Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия раздел 71.080.99 … Указатель национальных стандартов 2013
