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1 Diffusionsrohr
сущ.микроэл. диффузионная труба, трубка для диффузии, открытая (напр. кварцевая) труба для проведения процесса диффузии (примесей в протоке газа-носителя)
См. также в других словарях:
Thermische Oxidation von Silizium — Die thermische Oxidation von Silizium ist in der Halbleitertechnik ein Beschichtungsverfahren, bei dem auf einem einkristallinen Siliziumsubstrat (beispielsweise einem Silizium Wafer) eine dünne Schicht aus amorphen Siliziumdioxid aufgebracht… … Deutsch Wikipedia
