Sputtern

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• Sputtern — Das Sputtern (aus dem Englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend… …   Deutsch Wikipedia

• Sputtern — Kathodenzerstäubung * * * sput|tern 〈[spʌ̣t ] V. tr.; hat; Tech.〉 Oberflächenmaterial eines Festkörpers durch Ionenbestrahlung zerstäuben, abspalten [zu engl. sputter; eigtl. „zischen, brutzeln“] * * * Sputtern   [ spʌtərn; englisch, eigentlich… …   Universal-Lexikon

• sputtern — sput|tern 〈[spʌ̣t ] V.; Technik〉 Oberflächenmaterial eines Festkörpers durch Ionenbestrahlung zerstäuben, abspalten [Etym.: <engl. sputter, eigtl. »zischen, brutzeln«] …   Lexikalische Deutsches Wörterbuch

• HF-Sputtern — aukštadažnis joninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radio frequency ion sputtering vok. HF Sputtern, n; Hochfrequenzsputtern, n rus. высокочастотное ионное распыление, n pranc. pulvérisation ionique à haute… …   Radioelektronikos terminų žodynas

• physikalisches Sputtern — fizikinis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. physical sputtering vok. physikalisches Sputtern, n rus. физическое распыление, n pranc. pulvérisation physique, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

• reaktives Sputtern — reaktyvusis joninis dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion sputtering vok. reaktives Sputtern, n rus. реактивное ионное распыление, n pranc. pulvérisation ionique réactive, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

• Kathodenzerstäubung — Sputtern * * * Ka|tho|den|zer|stäu|bung 〈f. 20〉 = Katodenzerstäubung * * * Kathodenzerstäubung,   das Herausschlagen von Atomen aus der Metallkathode durch die aufprallenden Ionen einer Gasentladung. Da sich die herausgeschlagenen Atome auf nahen …   Universal-Lexikon

• Ionenstrahlsputtern — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia

• Kathodenzerstäubung — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia

• Magnetronsputtern — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia

• Magnetronzerstäubung — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia