-
1 электронно-лучевая литография
(EBL)Электронно-лучевая литографияМетод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования электронных пучков для облучения поверхности пластины с целью нанесения рисунка. Это одновременное экспонирование ( проекционный способ) всего изображения целиком и последовательное экспонирование (сканирование) отдельных участков рисунка. Проекционные системы, как правило, имеют высокую производительность и более просты, чем сканирующие системы. Носителем информации об изображении является маска (шаблон). Изображение с шаблона передается на пластину лучом электронов. Сканирующие системы управляются вычислительной машиной, которая задает программу перемещения сфокусированного пучка электронов для нанесения рисунка, исправляет эффекты искривления и расширения пучка и определяет положение пластины. Информация об изображении хранится в памяти ЭВМ.
Общая схема сканирующей системы для электронно-лучевой литографииАнгло-русский словарь по нанотехнологиям > электронно-лучевая литография
-
2 электронно-лучевая литография
Большой англо-русский и русско-английский словарь > электронно-лучевая литография
-
3 растровая электронно-лучевая литография
Большой англо-русский и русско-английский словарь > растровая электронно-лучевая литография
-
4 растровая электронно-лучевая литография
Англо-русский словарь технических терминов > растровая электронно-лучевая литография
-
5 электронно-лучевая проекционная литография
Большой англо-русский и русско-английский словарь > электронно-лучевая проекционная литография
-
6 electron-beam lithography
Англо-русский словарь технических терминов > electron-beam lithography
-
7 electron-beam printing
Англо-русский словарь технических терминов > electron-beam printing
-
8 electron-beam lithography
English-russian dictionary of physics > electron-beam lithography
-
9 electron-beam lithography
English-Russian household appliances > electron-beam lithography
-
10 electron-beam lithography
English-Russian dictionary on household appliances > electron-beam lithography
-
11 electron-beam printing
English-Russian dictionary of microelectronics > electron-beam printing
-
12 direct-write electron-beam lithography
электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображенийEnglish-Russian big polytechnic dictionary > direct-write electron-beam lithography
-
13 focused ion-beam lithography
English-Russian big polytechnic dictionary > focused ion-beam lithography
-
14 full-wafer lithography
English-Russian big polytechnic dictionary > full-wafer lithography
-
15 lithography
-
16 electron-beam lithography
The English-Russian dictionary general scientific > electron-beam lithography
-
17 chemical printing
English-Russian big polytechnic dictionary > chemical printing
-
18 electron-beam printing
English-Russian big polytechnic dictionary > electron-beam printing
-
19 vector-scan electron-beam lithography
электронно-лучевая литография с векторным сканированиемБольшой англо-русский и русско-английский словарь > vector-scan electron-beam lithography
-
20 vector-scan electron-beam lithography
электронно-лучевая литография с векторным сканированиемАнгло-русский словарь технических терминов > vector-scan electron-beam lithography
См. также в других словарях:
электронно-лучевая литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая литография — Electron Beam Lithography (EBL) Электронно лучевая литография Метод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
электронно-лучевая литография с растровым сканированием — elektronpluoštė rastrinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography vok. Rasterscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с растровым сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая литография с векторным сканированием — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
непосредственная электронно-лучевая литография — tiesioginė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. direct write electron beam lithography vok. Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung, f rus. непосредственная электронно лучевая… … Radioelektronikos terminų žodynas
сканирующая электронно-лучевая литография — skleistinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. scanning electron beam lithography; write electron beam lithography vok. Elektronenstrahlschreibenlithografie, f; Rasterelektronenstrahlithografie, f rus … Radioelektronikos terminų žodynas
литография электронно-лучевая — Термин литография электронно лучевая Термин на английском electron beam lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение нанотехнология электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
электронно-лучевая проекционная литография — elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron projection lithography; electron beam projection lithography vok. Elektronenbildprojektion, f; Elektronenstrahlprojektionsverfahren, n rus.… … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая проекционная литография с уменьшением — mažinamoji elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. demagnifying electron beam projection lithography vok. Projektion durch Elektronenbestrahlung mit Abbildungsverkleinerung, f rus. электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
электронная литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
