-
1 химическое осаждение из газовой фазы
adj1) mining. chemisches Abscheiden aus der Gasphase2) microel. CVD, Foto-CVD, chemische DampfabscheidungУниверсальный русско-немецкий словарь > химическое осаждение из газовой фазы
-
2 химическое осаждение из газовой фазы в вакууме
adjmicroel. V-CVD, Vakuum-CVDУниверсальный русско-немецкий словарь > химическое осаждение из газовой фазы в вакууме
-
3 химическое осаждение из газовой фазы при низком давлении
adjmicroel. LPCVD, Low-Pressure CVDУниверсальный русско-немецкий словарь > химическое осаждение из газовой фазы при низком давлении
-
4 химическое осаждение из газовой фазы с плазменным стимулированием
adjmicroel. PCVD-Prozeß, plasmagestützte Dampfphasenbeschichtung, plasmagestützte Dampfphasenbeschichtung Dampfphase, plasmaunterstützte, plasmaunterstützte CVDУниверсальный русско-немецкий словарь > химическое осаждение из газовой фазы с плазменным стимулированием
См. также в других словарях:
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических пленок (напр., в планарной технологии),… … Большой Энциклопедический словарь
химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные … Энциклопедический словарь нанотехнологий
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твердых в в р циями с участием газообразных соединений. По механизму р ций подразделяется на 4 вида: 1) термич. разложение или диспропорционирование газообразных соед., напр. SiH4 Si, ZrI4 Zr, Ni(CO)4 Ni, A1F Al, MRn M, где M металл, R… … Химическая энциклопедия
химическое осаждение из газовой фазы — получение твёрдых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических плёнок (например, в планарной технологии) … Энциклопедический словарь
плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — Термин плазменно химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском plasma enhanced chemical vapor deposition Синонимы плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой Аббревиатуры PECVD, ПХО, ПХГФО … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma enhanced chemical vapor deposition) процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком… … Википедия
химическое осаждение из паровой фазы — Процесс в газовой среде, при котором осаждаются изолирующие или металлические пленки на подложку при повышенной температуре. Для ускорения химической реакции часто используется пониженное давление. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]… … Справочник технического переводчика
осаждение из газовой фазы — Vapor Deposition Осаждение из газовой фазы Химическое осаждение из газовой фазы получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твёрдых в в с помощью хим. реакций, в к рых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллич. плёнок (напр., в планарной технологии), нитевидных… … Естествознание. Энциклопедический словарь
физическое осаждение из газовой фазы — Термин физическое осаждение из газовой фазы Термин на английском physical vapour deposition Синонимы PVD процесс Аббревиатуры PVD Связанные термины химическое осаждение из паров металлорганических соединений Определение технология нанесения… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
химическое осаждение из паров металлорганических соединений — Термин химическое осаждение из паров металлорганических соединений Термин на английском metalorganic chemical vapour deposition Синонимы Аббревиатуры MOCVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазная Определение… … Энциклопедический словарь нанотехнологий