откачка+до+предварительного+разрежения

См. также в других словарях:

• ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА — получение, измерение и применение давлений порядка тысячной нормального атмосферного давления и более низких. Вакуумная техника, методы которой когда то не выходили за пределы научной лаборатории, в настоящее время применяется во многих отраслях… …   Энциклопедия Кольера

• Турбомолекулярный насос — В этой статье не хватает ссылок на источники информации. Информация должна быть проверяема, иначе она может быть поставлена под сомнение и удалена. Вы можете …   Википедия