-
141 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.
См. также в других словарях:
Негативное изображение — см.: Негатив. Черно белое негативное изображение … Реклама и полиграфия
негативное изображение — — [Л.Г.Суменко. Англо русский словарь по информационным технологиям. М.: ГП ЦНИИС, 2003.] Тематики информационные технологии в целом EN reverse imagereverse video … Справочник технического переводчика
негативное изображение — 4.11. негативное изображение (negative image): Изображение, в котором штрихи имеют низкую оптическую плотность, а пробелы высокую оптическую плотность. Источник: ГОСТ 31245 2004: Автоматическая идентификация. Кодирование штриховое. Тр … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
негативное изображение — negatyvinis vaizdas statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. negative image vok. negatives Bild, n rus. негативное изображение, n pranc. image négative, f … Fizikos terminų žodynas
НЕГАТИВНОЕ ИЗОБРАЖЕНИЕ — негатив (от лат. negativus отрицательный), изображение, получаемое на светочувствит. материале в результате фотоили киносъёмки и последующей хим. фотогр. обработки; при этом на чёрно белых фотоматериалах светлые участки объектов съёмки получаются … Большой энциклопедический политехнический словарь
обращенное (негативное) изображение — — [Е.С.Алексеев, А.А.Мячев. Англо русский толковый словарь по системотехнике ЭВМ. Москва 1993] Тематики информационные технологии в целом EN reverse image … Справочник технического переводчика
ИЗОБРАЖЕНИЕ — воспроизведение на плоскости или в пространстве различными средствами внешнего, чувственно конкретного восприятия облика какого либо объекта, предмета или явления действительности; (1) И. ахроматическое, когда каждый элемент изображения имеет… … Большая политехническая энциклопедия
Негативное пространство — Ваза Рубина оптическая иллюзия, которая из за негативного пространства вокруг вазы кажется то бокалом, то двумя лицами Негативное пространство в искусстве пространство между или вокруг объекта / объектов рисунка. Негативное… … Википедия
Negative picture — Негативное изображение … Краткий толковый словарь по полиграфии
Negative [reverse] video — Негативное изображение на экране дисплея, обратный контраст … Краткий толковый словарь по полиграфии
Negative image — Негативное изображение, негатив … Краткий толковый словарь по полиграфии
