-
81 MIAS
metal/insulator/amorphous semiconductor — структура металл/диэлектрик/аморфный полупроводник -
82 фотолитография
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.Russian-English dictionary of Nanotechnology > фотолитография
-
83 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.Russian-English dictionary of Nanotechnology > photolithography
См. также в других словарях:
металл-диэлектрик-полупроводник — металл диэлектрик полупроводник, металла диэлектрика полупроводника … Орфографический словарь-справочник
полевой транзистор типа металл-диэлектрик-полупроводник — МДП транзистор Полевой транзистор с изолированным затвором, в котором в качестве изоляционного слоя между каждым металлическим затвором и проводящим каналом используется диэлектрик. [ГОСТ 15133 77] Тематики полупроводниковые приборы Синонимы МДП… … Справочник технического переводчика
полевой транзистор типа металл-диэлектрик-полупроводник — metalo dielektriko puslaidininkio lauko tranzistorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. metal insulator semiconductor FET; metal insulator semiconductor field effect transistor vok. Feldeffekttransistor mit Metall Isolator… … Radioelektronikos terminų žodynas
структура металл-диэлектрик-полупроводник — metalo dielektriko puslaidininkio darinys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. metal insulator semiconductor structure vok. Metall Isolator Halbleiter Struktur, f rus. структура металл диэлектрик полупроводник, f pranc. structure … Radioelektronikos terminų žodynas
ПЕРЕХОД МЕТАЛЛ - ДИЭЛЕКТРИК — фазовыйпереход, сопровождающийся изменением величины и характера электропроводностипри изменении темп ры Т, давления р, магн. поля Н илисостава вещества. П. м. д. наблюдаются в ряде твёрдых тел, иногда в жидкостяхи газах (плотных парах металлов) … Физическая энциклопедия
Полупроводник — (Semiconductor) Определение полупроводника, строение полупроводников и принцип действия Информация об определении полупроводника, строение полупроводников и принцип действия Содержание Содержание 1. Исторические 2. Свойства 3. Строение… … Энциклопедия инвестора
ФАЗОВЫЙ ПЕРЕХОД ДИЭЛЕКТРИК — МЕТАЛЛ — наблюдается в ряде тв., жидких и газообразных тел при изменении темп ры, давления или состава; проявляется в изменении электропроводности s и её температурной зависимости, оптич. и др. свойств. При Ф. п. д. м. s может изменяться как непрерывно,… … Физическая энциклопедия
ЭКСИТОННЫЙ ДИЭЛЕКТРИК — полупроводниковое состояние, обусловленное существованием когерентного спаривания электрон дырка (см. Экситон). Существует критич. темп pa, выше к рой это когерентное состояние исчезает посредством фазового перехода. При этом исходная система… … Физическая энциклопедия
Диэлектрическая электроника — область физики, занимающаяся исследованием и практическим применением явлений, связанных с протеканием электрических токов в диэлектриках (См. Диэлектрики). Концентрация электронов проводимости (См. Электрон проводимости) или каких либо… … Большая советская энциклопедия
Полевой транзистор — Полевой транзистор (англ. field effect transistor, FET) полупроводниковый прибор, в котором ток изменяется в результате действия перпендикулярного току электрического поля, создаваемого входным сигналом. Протекание в полевом транзисторе… … Википедия
ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР — транзистор, в к ром управление протекающим через него током осуществляется электрич. полем, перпендикулярным направлению тока. Принцип работы П. т., сформулированный в 1920 х гг., поясняется на рис. 1. Тонкая пластинка полупроводника (канал)… … Физическая энциклопедия