газофазная эпитаксия

См. также в других словарях:

• Газофазная эпитаксия — Газофазная эпитаксия  получение эпитаксиальных слоев полупроводников путём осаждения из паро газовой фазы. Наиболее часто применяется в технологии кремниевых, германиевых и арсенид галлиевых полупроводниковых приборов и интегральных… …   Википедия

• Эпитаксия — это закономерное нарастание одного кристаллического материала на другой (от греч. επι на и ταξισ упорядоченность), т.е. ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Строго говоря, рост всех кристаллов можно назвать… …   Википедия

• эпитаксия газофазная — Термин эпитаксия газофазная Термин на английском metalorganic vapour phase epitaxy Синонимы Аббревиатуры MOVPE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, нановискер, химическое осаждение из паров металлорганических соединений, эпитаксия… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

• эпитаксия — Термин эпитаксия Термин на английском epitaxy Синонимы Аббревиатуры Связанные термины гетероструктура полупроводниковая, гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, подложка, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

• эпитаксия молекулярно-лучевая, метод — Термин эпитаксия молекулярно лучевая, метод Термин на английском molecular beam epitaxy Синонимы Аббревиатуры МЛЭ, МПЭ, MBE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, квантовая яма, нановискер, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

• ЭПИТАКСИЯ — (от греч. epi на и taxis расположение, порядок), ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда в ва подложки и нарастающего кристалла различны, и г о м о э п и т а к с и ю… …   Физическая энциклопедия

• Жидкофазная эпитаксия — Эпитаксия из жидкой фазы в основном применяется для получения многослойных полупроводниковых соединений, таких как GaAs, CdSnP2; также является основным способом получения монокристаллического кремния (Метод Чохральского). Готовится шихта из… …   Википедия

• Молекулярно-пучковая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслон …   Википедия

• гетероэпитаксия — Термин гетероэпитаксия Термин на английском heteroepitaxy Синонимы Аббревиатуры Связанные термины гетероструктура полупроводниковая, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия молекулярно лучевая, метод… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

• гомоэпитаксия — Термин гомоэпитаксия Термин на английском homoepitaxy Синонимы Аббревиатуры homoepi Связанные термины эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия молекулярно лучевая, метод Определение вид эпитаксии, при котором …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

• Гомоэпитаксия — Основная статья: Эпитаксия Гомоэпитаксия (автоєпитаксия) процесс ориентированного нарастания вещества, не отличающегося по химическому составу от вещества подложки. Пример: получение кремниевых и германиевых n+ n и p+ p в технологии… …   Википедия