-
61 negative photoresist
English-Russian big polytechnic dictionary > negative photoresist
-
62 nonliquid resist
English-Russian big polytechnic dictionary > nonliquid resist
-
63 фотолитография
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим. -
64 photolithography
ФотолитографияСпособ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим. -
65 LBR
[laser beam recordere] лазерный самописец (устройство экспонирования слоя фоторезиста лазерным лучом, модулированным информацией, которая подлежит записи) -
66 baking time
Большой англо-русский и русско-английский словарь > baking time
-
67 double photoresist
Большой англо-русский и русско-английский словарь > double photoresist
-
68 first bake
Большой англо-русский и русско-английский словарь > first bake
-
69 laser beam recorder
лазерный самописец (устройство экспонирования слоя фоторезиста лазерным лучом, модулированным информацией, которая подлежит записи)Большой англо-русский и русско-английский словарь > laser beam recorder
-
70 mask blank
заготовка фотошаблона со слоем фоторезистаБольшой англо-русский и русско-английский словарь > mask blank
-
71 photoresist image
фоторезистивное изображение, рисунок фоторезистаБольшой англо-русский и русско-английский словарь > photoresist image
-
72 photoresist lift-off
Большой англо-русский и русско-английский словарь > photoresist lift-off
-
73 photoresist mask
Большой англо-русский и русско-английский словарь > photoresist mask
-
74 photoresist removal
удаление [снятие] фоторезистаБольшой англо-русский и русско-английский словарь > photoresist removal
-
75 photoresist stripping
Большой англо-русский и русско-английский словарь > photoresist stripping
-
76 postbaking
1. последующая термообработка;
вторичная термообработка
2. последующее отверждение
3. вторая сушка, вторая ступень задубливания (фоторезиста)Большой англо-русский и русско-английский словарь > postbaking
-
77 postexposure bake
Большой англо-русский и русско-английский словарь > postexposure bake
-
78 prebaking
1. предварительный обжиг;
термообработка( в фотолитографии)
2. предварительное задубливание( фоторезиста)Большой англо-русский и русско-английский словарь > prebaking
-
79 preexposure bake
Большой англо-русский и русско-английский словарь > preexposure bake
-
80 resist curing
термообработка резиста или фоторезистаБольшой англо-русский и русско-английский словарь > resist curing
См. также в других словарях:
отслаивание слоя фоторезиста — fotorezisto sluoksnio atlipimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photoresist lift off vok. Abheben der Fotoresistschicht, n rus. отслаивание слоя фоторезиста, n pranc. détachement de la couche du photorésist, m … Radioelektronikos terminų žodynas
удаление фоторезиста со всей поверхности пластины — fotorezisto šalinimas nuo plokštelės paviršiaus statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. surface wide stripping of photoresist vok. Ablösen des Fotoresists von der gesamten Substratoberfläche, n; Gesamtoberflächenstripping, n rus.… … Radioelektronikos terminų žodynas
удаление фоторезиста в кислородной плазме — fotorezisto šalinimas deguonies plazmoje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. oxygen gas plasma stripping vok. Ablösen des Resists im Sauerstoffplasma, n rus. удаление фоторезиста в кислородной плазме, n pranc. élimination du… … Radioelektronikos terminų žodynas
удаление остатков фоторезиста с пластины — plokštelės fotorezisto liekanų šalinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer photoresist descumming vok. Entfernen von Lackresten vom Wafer, n rus. удаление остатков фоторезиста с пластины, n pranc. élimination des restes… … Radioelektronikos terminų žodynas
образование непроявленного фоторезиста из-за присутствия озона — ozono sukeltas neišryškinto fotorezisto susidarymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ozone induced scumming vok. Entstehung von nicht entwickelten Stellen im Resist infolge Ozoneinwirkung, f rus. образование непроявленного… … Radioelektronikos terminų žodynas
образование непроявленного фоторезиста — neišryškinto rezisto susidarymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. resist scumming vok. Entstehung von unentwickeltem Fotoresist, f rus. образование непроявленного фоторезиста, n pranc. création du résist non développé, f … Radioelektronikos terminų žodynas
установка для нанесения фоторезиста — fotorezisto dengtuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photoresist coater vok. Fotolackbeschichtungsanlage, f rus. установка для нанесения фоторезиста, f pranc. installation pour gainage par photorésist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
слой фоторезиста — fotorezisto sluoksnis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. lacquer layer; photoresist layer vok. Fotolackschicht, f; Fotoresistschicht, f rus. слой фоторезиста, m pranc. couche de photorésist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
проявитель фоторезиста — fotorezisto ryškalas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photoresist developer vok. Fotoresistentwickler, m rus. проявитель фоторезиста, m pranc. développateur du photorésist, m … Radioelektronikos terminų žodynas
установка для проявления фоторезиста — fotorezisto ryškintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photoresist developer vok. Fotoresistentwicklungsanlage, f rus. установка для проявления фоторезиста, f pranc. développeuse du photorésist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
визуальный контроль проявления фоторезиста — fotorezisto ryškinimo apžiūra statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photoresist develop inspection vok. Fotoresistentwicklungssichtprüfung, f; visuelle Entwicklungsprüfung eines Fotoresists, f rus. визуальный контроль проявления… … Radioelektronikos terminų žodynas