-
21 плазменное травление
Русско-немецкий словарь по электронике > плазменное травление
-
22 высокочастотное плазменное травление
Microelectronics: radio-frequency plasma etchingУниверсальный русско-английский словарь > высокочастотное плазменное травление
-
23 реактивное плазменное травление
Makarov: reactive plasma etchingУниверсальный русско-английский словарь > реактивное плазменное травление
-
24 ионно-плазменное травление
adjmicroel. Sprühätzen (в среде инертного или активного газа), Sputterätzen (в среде инертного или активного газа)Универсальный русско-немецкий словарь > ионно-плазменное травление
-
25 реактивное ионно-плазменное травление
adjmicroel. chemisch unterstutztes Ionenstrahlatzen, chemisch unterstütztes IonenstrahlätzenУниверсальный русско-немецкий словарь > реактивное ионно-плазменное травление
-
26 сухое ионно-плазменное травление
adjmicroel. TrockenplasmaätzenУниверсальный русско-немецкий словарь > сухое ионно-плазменное травление
-
27 сухое плазменное травление
adjmicroel. TrockenplasmaätzenУниверсальный русско-немецкий словарь > сухое плазменное травление
-
28 вакуумно-плазменное травление
Русско-английский физический словарь > вакуумно-плазменное травление
-
29 реактивное плазменное травление
Русско-английский словарь по электронике > реактивное плазменное травление
-
30 ионно-плазменное травление
( в среде инертного или активного газа) SprühätzenRussian-german polytechnic dictionary > ионно-плазменное травление
-
31 реактивное плазменное травление
Русско-английский словарь по радиоэлектронике > реактивное плазменное травление
-
32 plasma etching
плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизованного газа)Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > plasma etching
-
33 dry etching
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > dry etching
-
34 плазма (в полупроводниковых приборах)
плазма (в полупроводниковых приборах)
Электропроводящий газ, состоящий из ионизированных частиц, которые используются для вытравливания ненужного материала в процессе химической или физической бомбардировки. Плазменное травление происходит в реакторе, который может быть объемного или плоского типа.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > плазма (в полупроводниковых приборах)
- 1
- 2
См. также в других словарях:
плазменное травление — Сухое травление, при котором полупроводниковая подложка погружается в плазму, содержащую травящие реагенты; химическая реакция травления происходит с одинаковой скоростью в любом направлении, то есть травление изотропно; может быть очень… … Справочник технического переводчика
Травление — Не следует путать с Травля (значения). Фольгированный текстолит … Википедия
травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
плазменное ионное травление — joninis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion assisted plasma etching vok. Plasmaionenätzen, n rus. плазменное ионное травление, n pranc. décapage ionique par plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
плазменное травление в цилиндрическом реакторе — plazminis ėsdinimas cilindriniame reaktoriuje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. barrel reactor plasma etching vok. Plasmaätzen im Trommelreaktor, n rus. плазменное травление в цилиндрическом реакторе, n pranc. décapage par… … Radioelektronikos terminų žodynas
плазменное травление — plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etching vok. Plasmaätzung, f rus. плазменное травление, n pranc. corrosion par plasma, f … Radioelektronikos terminų žodynas
ТРАВЛЕНИЕ — химическое, удаление части поверхностного слоя монокристалла, заготовки или изделия с помощью топохим. р ций. Проводится с использованием р ров, расплавов, газов (газовое Т.) или активир. газов (напр., плаз мохимическое Т.). Собственно химическое … Химическая энциклопедия
высокочастотное плазменное травление — aukštadažnis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radio frequency plasma etch vok. Hochfrequenzplasmaätzen, n rus. высокочастотное плазменное травление, n pranc. décapage par plasma haute fréquence, m … Radioelektronikos terminų žodynas
микроволновое плазменное травление — mikrobanginis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microwave plasma etching vok. Mikrowellenätzung, f rus. микроволновое плазменное травление, n pranc. décapage microhertzien par plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
Плазменная обработка — процесс обработки материалов при помощи плазмы с целью изменения физических или химических свойств поверхности обрабатываемого объекта. Подвидами плазменной обработки являются: Плазменная активация; Плазменная модификация; Плазменное травление;… … Википедия
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия