-
21 electron beam lithography
(EBL)Электронно-лучевая литографияМетод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования электронных пучков для облучения поверхности пластины с целью нанесения рисунка. Это одновременное экспонирование ( проекционный способ) всего изображения целиком и последовательное экспонирование (сканирование) отдельных участков рисунка. Проекционные системы, как правило, имеют высокую производительность и более просты, чем сканирующие системы. Носителем информации об изображении является маска (шаблон). Изображение с шаблона передается на пластину лучом электронов. Сканирующие системы управляются вычислительной машиной, которая задает программу перемещения сфокусированного пучка электронов для нанесения рисунка, исправляет эффекты искривления и расширения пучка и определяет положение пластины. Информация об изображении хранится в памяти ЭВМ.Общая схема сканирующей системы для электронно-лучевой литографииRussian-English dictionary of Nanotechnology > electron beam lithography
- 1
- 2
См. также в других словарях:
EBL — steht für Elektronenstrahllithografie (engl. electron beam lithography) Europäische Behörde für Lebensmittelsicherheit Eisenbahnbetriebsleiter Flughafen Arbil im Irak (IATA Code) Elektra Baselland … Deutsch Wikipedia
EBL — Cette page d’homonymie répertorie les différents sujets et articles partageant un même nom. Sigles d’une seule lettre Sigles de deux lettres > Sigles de trois lettres Sigles de quatre lettres … Wikipédia en Français
EBL (disambiguation) — EBL may stand for: * English Basketball League * Erbil International Airport * European Bridge League * Electron beam lithography * Extragalactic Background Light … Wikipedia
EBL — Extragalactic Background Light (Academic & Science » Astronomy) **** Estimated Blood Loss (Medical » Physiology) * Electronic Bearing Line (Governmental » Military) * Evidence Based Learning (Community » Educational) … Abbreviations dictionary
EBL — erythroblastic leukemia; estimated blood loss * * * enzootic bovine leukosis … Medical dictionary
eBL — endemic Burkitt lymphoma * * * enzootic bovine leukosis … Medical dictionary
EBL/S — estimated blood loss during surgery … Medical dictionary
Ebl — aus oberdeutschen Koseformen von Eberhard oder Albrecht entstandene Familiennamen … Wörterbuch der deutschen familiennamen
EBL — Erprobungsstelle der Bundeswehr für Luftfahrtgerät EN Bundeswehr Aviation Equipment Proving Grounds … Abkürzungen und Akronyme in der deutschsprachigen Presse Gebrauchtwagen
EBL — abbr. med. Estimated Blood Loss – ожидаемая кровопотеря … Dictionary of English abbreviation
EBL — An acronym for Electron Beam Lithography. A method for producing integrated circuits … International financial encyclopaedia